激光干涉仪的工作原理基于光的干涉现象。激光器发射出单*频率光束，光束射入线性干涉镜后分成两道光束，分别射向固定反射镜和可动反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，*后重新汇聚返回激光干涉仪。当可动反射镜移动时，会导致两束光的光程差发生变化，从而产生干涉条纹的移动。通过检测干涉条纹的变化，就可以精确计算出可动反射镜的位移量。
激光干涉仪主要有单频和双频两种类型。单频激光干涉仪出现较早，*初用于检定基准线纹尺，后常用于计量室精密测长，但它对测量环境要求较高，空气湍流等会影响测量结果。双频激光干涉仪则抗干扰能力强，适宜在车间等较为复杂的环境中使用，它通过测量频率变化来获取位移信息，常用于检定测长机、三坐标测量机等设备的坐标精度。
激光干涉仪具有诸多卓越的性能特点。它测量精度*高，能够达到纳米*分辨率，这使其成为高精度测量的*选工具。同时，它功能丰富多样，可配合各种折射镜、反射镜等，实现线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等多种测量工作。此外，激光干涉仪还可以进行动态测量，对机器运动的位移、速度、加速度等参数进行分析，评估机床等设备的动态特性。
在实际应用中，激光干涉仪发挥着关键作用。在机械制造*域，它可用于检测零部件的尺寸误差和形状误差，确保零件加工精度。在数控机床*域，能检测机床的定位精度、重复定位精度等，还可自动对线性误差进行补偿，提高机床加工精度。同时，它在引力波探测等前沿科学研究*域也有重要应用，如美国的 “激光干涉引力波天文台” 就利用巨大的激光干涉仪，*次直接探测到了引力波。
总之，激光干涉仪凭借其高精度、多功能等优势，成为了现代精密测量*域不可或缺的重要仪器。随着技术的不断发展，它将在更多*域发挥更大的作用，为科学研究和工业生产等提供更精准的测量支持，推动相关*域不断向前发展。